|
Modelovanje procesa povratne difuzije elektrona
Marija Radmilovi�-Ra�enovi�
Prou�avan je efekat povratne difuzije elektrona na katodu primenom Monte Carlo simulacije. Osnovni cilj izvr�enih prora�una je bio nala�enje minimalnog seta parametara potrebnog za simulaciju procesa povratne difuzije elektrona kako bi se ova pojava opisala na najjednostavniji na�in u slo�enim modelima kolizionih plazmi. Dobijen i rezultati pokazuju odli�no slaganje s odgovaraju�im eksperimentalnim podacima i mogu se koristiti za prou�avanje i predvi�anje svojstava procesa pra�njenja koji se javljaju u tehnici naparavanja tankih slojeva, u tehnologiji procesa bitnih za proizvodnju plazma ekrana i lasera, u tehnologiji integrisanih kola, kod detektora nuklearnih �estica itd.
Klju�ne re�i: povratna difuzija, refleksija, energijska raspodela, Monte Carlo simulacija. |