|
Modelovanje procesa povratne difuzije elektrona
Marija Radmilović-Rađenović
Proučavan je efekat povratne difuzije elektrona na katodu primenom Monte Carlo simulacije. Osnovni cilj izvršenih proračuna je bio nalaženje minimalnog seta parametara potrebnog za simulaciju procesa povratne difuzije elektrona kako bi se ova pojava opisala na najjednostavniji način u složenim modelima kolizionih plazmi. Dobijen i rezultati pokazuju odlično slaganje s odgovarajućim eksperimentalnim podacima i mogu se koristiti za proučavanje i predviđanje svojstava procesa pražnjenja koji se javljaju u tehnici naparavanja tankih slojeva, u tehnologiji procesa bitnih za proizvodnju plazma ekrana i lasera, u tehnologiji integrisanih kola, kod detektora nuklearnih čestica itd.
Ključne reči: povratna difuzija, refleksija, energijska raspodela, Monte Carlo simulacija. |